Mass Flow Controller 500Sccm-Ar

【Product Specifications】
・Model number： C1005
・Full scale flow rate - gas type： 500SCCM-Ar
・Gas type： Ar
・Flow rate accuracy： +/- 2% FS (accuracy guaranteed range： 15 - 35℃)
・Responsiveness： 6sec
・Flow rate control range： 5 - 100% FS
・Input and output： Analog signal (0 - 5VDC)
・Valve type： N/O normal open
・Reproducibility： +/- 0.2% FS
・Operation pressure range： 50 - 300kPa
・Pressure resistance： 1MPa (G)
・External leak rate： 1 x 10 - 7Pa, m3/sec (He) or less
・Gas contact unit material： Stainless Steel (SUS316), PTFE, Fluorine rubber
・Connection： Equivalent to 1/4in.SWL
・Power supply： + 15VDC +/- 5% 60mA, - 15VDC +/- 5% 150mA
・Communication system： Analog 0 - 5VDC (D-Sub9Pin connector)
・Size： 127 x 25.5 x 100mm